ارائه درخواست تسهیلات از طریق پارک علم و فناوری فارس
بررسی مدارک توسط معاونت علمی و فناوری ریاست جمهوری
صدور مصوبه توسط معاونت علمی و فناوری ریاست جمهوری و ارجاع به صندوق فارس
انعقاد قرارداد و پرداخت تسهیلات توسط صندوق غیر دولتی پژوهش و فناوری فارس
نظارت بر مصرف تسهیلات توسط پارک علم و فناوری فارس